不能將不防塵的產(chǎn)品(例如普通托盤和容器)帶入無塵室,因此請務必使用特殊產(chǎn)品。如果采取防靜電措施,例如導電材料和防靜電工藝,以防止灰塵附著在表面上,則將可能進行更高級的清潔管理。
用于無塵室的導電塑料托盤是一種防止靜電產(chǎn)生的對策產(chǎn)品。
用于存放潔凈室晶圓的導電盒。由于可以密封,因此灰塵和污垢不會進入內(nèi)部,從而防止了靜電和微粒污染。
一種保護盒,該保護盒夾在上下兩個薄膜之間,并固定在一個空間中。即使容器掉落,它也能吸收沖擊力并且不會傳遞,因此內(nèi)部的零件也不會損壞。
潔凈室的紙管是使用潔凈紙的低粉塵產(chǎn)生紙芯。由于它是抗靜電產(chǎn)品,因此也可以用作抗靜電措施。
用于潔凈室的免刀粘塵紙卷在表面上的纏繞痕跡接縫處沒有臺階。
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