微電子器件在工業(yè)上被稱為靜電敏感器件。一般來說，場效應(yīng)器件、雙極器件等微電子器件的抗靜電能力較弱，人體或器件本身的靜電足以對器件造成損傷。如果沒有保護，微電子器件很可能因為靜電而失去功能，影響產(chǎn)品質(zhì)量。一般來說，微電子器件對靜電放電非常敏感。由于微電子器件體積小，很難判斷其外觀是否失效。唯一的辦法就是通過技術(shù)測量，檢測他們的具體參與情況，判斷微電子器件是否完好。因此，改善微電子器件在包裝、運輸、儲存和使用中的防靜電措施非常重要。
隱蔽性：除非發(fā)生靜電放電，否則人體不能直接感知靜電，但發(fā)生靜電放電時人體可能感覺不到電擊，因為人體感知的靜電放電電壓為2-3 KV。
潛伏性：某些電子元器件被靜電損壞后性能并沒有明顯下降，但多次累積放電會對元器件造成內(nèi)傷，形成隱患。
隨機性：什么情況下電子元器件會被靜電損壞？可以說，所有的過程從一個部件產(chǎn)生到損壞，都受到靜電的威脅，這些靜電的產(chǎn)生也是靈活的。
復(fù)雜性：靜電放電損傷的失效分析由于電子產(chǎn)品精細(xì)、薄、微小的結(jié)構(gòu)特征，耗時、費力、成本高，對技術(shù)要求高，往往需要使用掃描電子顯微鏡等高精度儀器。即便如此，一些靜電損傷現(xiàn)象很難與其他原因造成的損傷區(qū)分開來，使人們誤認(rèn)為靜電損傷失效是其他故障。這往往歸因于早期故障或在未完全了解靜電放電造成的損害之前，以未知的條件發(fā)生故障，從而不自覺地掩蓋了故障的真正原因。
靜電的特性是靜電防護的一個難題，由于微電子器件的特性，靜電防護的難度更大。
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