微電子設(shè)備在業(yè)界被稱為靜電敏感設(shè)備。一般而言，諸如場效應(yīng)器件和雙極器件之類的微電子器件具有較弱的抗靜電能力，并且人體或器件本身的靜電足以造成器件損壞。如果沒有保護措施，微電子設(shè)備很可能會因靜電而失去功能，從而影響產(chǎn)品質(zhì)量。一般來說，微電子設(shè)備對靜電放電非常敏感。由于微電子裝置的尺寸小，因此難以從其外觀來判斷其是否已經(jīng)失效。唯一的方法是通過技術(shù)測量來檢測其特定參數(shù)和條件，并判斷微電子設(shè)備是否完好無損。因此，
靜電危害的特征：
隱蔽性：除非發(fā)生靜電放電，否則人體無法直接感應(yīng)到靜電，但是當人體發(fā)生靜電放電時，由于人體感應(yīng)到的靜電放電電壓為2-3 KV，因此人體可能不會受到電擊。
潛伏性：某些電子組件在被靜電損壞后并不會顯著降低性能，但是多次累積放電會導致內(nèi)部組件損壞并形成隱患。
隨機性：在什么情況下電子元件會被靜電損壞？可以說，從部件的產(chǎn)生到損壞的所有過程都受到靜電的威脅，這些靜電的產(chǎn)生也很靈活。
復雜性：由于電子產(chǎn)品的細，薄和微小的結(jié)構(gòu)特征，對靜電放電損壞的故障分析是費時，費力且昂貴的。它要求很高的技術(shù)要求，并且經(jīng)常需要使用諸如掃描電子顯微鏡之類的高精度儀器。即使這樣，某些靜電損壞現(xiàn)象也很難與其他原因造成的損壞區(qū)分開，使人們錯誤地認為靜電損壞故障是其他故障。這通常歸因于早期故障或在完全認識到靜電放電造成的損壞之前在未知條件下的故障，因此無意識地掩蓋了故障的真正原因。
FC-002B
離子氣吧
02
SL-006C離子發(fā)生器
操作員：人是最大的靜電源。人們的活動和工作會產(chǎn)生靜電，當接觸或接近微電子設(shè)備時可能會產(chǎn)生靜電。為減少人為因素，必須穿著防靜電工作服，手套和防靜電鞋，并佩戴防靜電腕帶/腳環(huán)，并可靠接地。養(yǎng)成良好的工作習慣，并在沒有防靜電措施或不完整措施的情況下遠離對靜電敏感的產(chǎn)品。
設(shè)備：為了提高企業(yè)的生產(chǎn)能力，自動化設(shè)備被用于許多過程中，這些設(shè)備的運行會產(chǎn)生大量的靜電。在微電子設(shè)備的處理中，各種過程將釋放靜電，并且大量的微電子設(shè)備將發(fā)生故障。所有設(shè)備，儀器，工作臺，凳子和架子必須可靠接地。移動的手推車等也必須通過安裝靜電放電接地。
材料：在操作環(huán)境中使用抗靜電/靜電材料制成工作臺面，周轉(zhuǎn)箱/包裝箱。
環(huán)境：靜電的產(chǎn)生與環(huán)境濕度成正比，即濕度越高，產(chǎn)生的靜電越少。但是，高濕環(huán)境容易生銹和腐蝕。綜合考慮，一般電子生產(chǎn)車間的濕度保持在30％-70％RH。另外，離子風扇也可用于中和靜電荷。
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