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半導體行業的靜電防護知識
發布時間:2021-01-26 09:56瀏覽次數:

半導體行業的靜電防護知識

靜電產生的方法:接觸分離;摩擦; 脫皮 傳導。

安全第一:防靜電措施是否與安全措施相抵觸。

保護措施:接地-等電位連接;靜態功率控制;防靜電包裝。

關注的重點:產品靜電敏感性要求;保護標準匹配;合規性驗證。

何時使用金屬材料以及何時使用靜電耗散材料?

金屬材料:

1.產品處于等電位時可以直接使用金屬材料。

2.當單個產品不會直接與金屬材料接觸時,可以使用金屬材料。

由于整個產品處理框架的關系,晶圓使用非靜電膜,因此某些設備無法配備離子風扇。在此過程中會積聚靜電。除了安裝離子風扇外,我們還將選擇一些快速導電的材料來使靜電快速消失。

如果使用靜電消散材料可以嗎?

是的,但是靜電耗散非常緩慢,存在靜電積聚的風險,并且在切割過程中會發生放電,這對產品造成ESD損害的風險很大。

靜電材料:將單個產品切割,分離,運輸和包裝后,即可使用靜電材料。

使用錯誤材料有什么風險?

由于切割和分離后的產品更敏感且抗靜電能力較弱,因此,如果使用金屬材料,它們會因導電過快(由于直接接觸產品后迅速放電)而對產品造成ESD損壞,并且使用靜電材料會限制壓力。降低與產品接觸后ESD損壞產品的風險。

半導體行業的靜電防護措施

接地等電位連接:與敏感設備接觸的導體實現等電位連接,以避免導體上的靜電引起的放電。

靜電控制:絕緣材料的靜電不能通過接地和等電位連接消除,因此必須在敏感設備周圍進行靜電控制。

防靜電包裝:從ESD保護區運出的設備必須使用防靜電包裝,以防止外部靜電的影響。

靜電保護的核心是消除靜電:防止靜電積聚在可能發生靜電的地方。我們用它來產生和釋放靜電。并將靜電電壓控制在安全范圍內。消除現有的靜電積聚并及時釋放。

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