濕度控制對于有效的ESD程序很重要，原因有兩個：
在較低的濕度水平（<30％RH）下，不會產生通常產生的靜電荷的耗散，因此增加了ESD事件的可能性。
材料（例如粉紅色聚）依靠空氣中的水分與材料的抗靜電劑結合，從而在材料的整個表面上形成微觀導電層。在較低的濕度（通常低于15％RH）下，這些抗靜電材料可能會帶電，從而產生ESD危害。
EPA中的最佳相對濕度為50％（正負10％）。
當濕度低于RH的30％時，應使用特殊的控制和程序（例如空氣電離和提高對摩擦帶電的更大潛力的認識）來加工ESDS設備和組件。如果不是基于班次的工作，則設施ESD監控器必須在每次班次或操作之前驗證濕度，除非自動低濕度警報系統正在監控工作區域。強烈建議設施空氣處理器包括自動加濕器以保持濕度控制。EPA應將相對濕度控制在30％至70％的相對濕度范圍內。
空氣離子發生器可以通過對周圍區域的分子進行充電來中和絕緣體或隔離物體上的靜電荷，從而使累積的電荷被中和。當無法使用前述方法和設備將工作站上的所有物體正確接地或作為這些方法的支持時，通常使用空氣離子發生器。
例如，大多數膠帶都是非導體，如果在緊鄰ESDS設備的地方使用，則需要電離器來中和膠帶上的電荷。在1級設施中進行工作時，應始終使用電離器，并且在需要時，必須在2級設施中使用離子發生器。在某些產生靜電的制造操作中特別需要離子發生器，例如蒸氣脫脂，真空包裝，噴涂保形涂層，波峰焊以及使用加壓氣槍。此外，當濕度低于RH的30％時，電離器是公認的靜電抑制劑。任何對250伏以下的損壞敏感的零件都要求在將零件從其ESDS包裝中取出時隨時使用離子發生器。需要校準空氣電離器以驗證平衡和性能。
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