靜電放電或ESD是日常生活中的事實(shí),近來在電子行業(yè)中尤為重要。幾年前,當(dāng)使用熱電子閥/真空管時(shí),這不是問題,即使引入晶體管,也很少有人認(rèn)為這是問題。但是,當(dāng)引入MOSFET時(shí),其故障率上升了,對此問題進(jìn)行了調(diào)查,結(jié)果發(fā)現(xiàn),靜電累積足以導(dǎo)致器件中的氧化層失效。從那以后,人們對ESD的認(rèn)識(shí)大大提高,因?yàn)樗扬@示出對許多設(shè)備都有影響。實(shí)際上,當(dāng)今許多制造商認(rèn)為所有組件都是靜電敏感的,而不僅僅是最容易損壞的MOS器件。
由于對ESD的重視,電子設(shè)備制造商花費(fèi)了數(shù)千英鎊來確保其工作場所免受靜電的影響。他們確保所制造的產(chǎn)品在制造測試期間不會(huì)出現(xiàn)高故障率,并且能夠長期顯示出高可靠性。
靜電只是兩個(gè)表面之間電荷的積累。當(dāng)表面摩擦在一起時(shí)會(huì)出現(xiàn)這種情況,這會(huì)導(dǎo)致一個(gè)表面上的電子過多而另一表面上的電子不足。電荷堆積在其上的表面可被視為電容器。除非電荷具有可流動(dòng)的路徑,否則電荷將保留在原位。由于電荷通常沒有真正的流動(dòng)路徑,因此所得電壓可能會(huì)保留一段時(shí)間,這會(huì)產(chǎn)生術(shù)語“靜電”。但是,當(dāng)確實(shí)存在導(dǎo)電路徑時(shí),電流將流動(dòng)并且電荷將減少。有一個(gè)與放電有關(guān)的時(shí)間常數(shù)。高電阻意味著較小的電流將流經(jīng)更長的時(shí)間。低電阻將導(dǎo)致更快的放電。
顯然,所產(chǎn)生的電壓和電流水平取決于多種因素。人的大小,活動(dòng)水平,放電所針對的物體,當(dāng)然還有空氣的濕度。這些都有明顯的作用,因此幾乎不可能預(yù)測將要發(fā)生的放電的確切大小。但是,影響產(chǎn)生的電壓的主要因素之一是被摩擦在一起的材料的類型。發(fā)現(xiàn)不同的材料給出不同的電壓。產(chǎn)生的電壓取決于兩種材料在摩擦電串聯(lián)中的位置。
它們在串聯(lián)中相隔越遠(yuǎn),電壓越大。在系列中較高的一個(gè)將獲得正電荷,而在較低系列中的一個(gè)將負(fù)電荷。查看下面的摩擦電系列列表,可以看到用塑料梳子梳理頭發(fā)會(huì)在頭發(fā)上帶正電荷,并且梳子會(huì)帶負(fù)電。
可以采用多種方式建立費(fèi)用。即使在地毯上走動(dòng),也會(huì)產(chǎn)生一些非常大的電壓。通常,這可能會(huì)產(chǎn)生10 kV的電勢。在惡劣的情況下,它甚至可能導(dǎo)致該值變成該值的三倍。即使在乙烯基地板上行走也可能導(dǎo)致產(chǎn)生約5 kV的電勢。實(shí)際上,表面摩擦在一起的任何形式的運(yùn)動(dòng)都會(huì)導(dǎo)致靜電的產(chǎn)生。使用電子組件在工作臺(tái)上工作的人很容易產(chǎn)生500 V或更高的靜態(tài)電勢。
在房間中行走時(shí),最常見的產(chǎn)生電荷的例子之一。即使是這種日常事件,也會(huì)產(chǎn)生一些令人驚訝的高電壓。實(shí)際電壓取決于各種因素而有很大不同,但是可以給出估計(jì)來說明問題的嚴(yán)重程度。
為了說明問題的嚴(yán)重程度,下表中詳細(xì)介紹了各種實(shí)例:
日常操作可能引起的ESD電壓
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產(chǎn)生電荷的原因
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可能產(chǎn)生的電壓(KV)*
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穿過地毯
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30
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拿起聚乙烯袋
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20
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在乙烯基瓷磚的表面上行走
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15
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在長凳上工作
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5
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這些是近似值,并假設(shè)相對濕度最高為25%。由于濕度上升,所以這些水平下降:與75%左右的濕度,靜態(tài)水平可以下降的一個(gè)因素的非常約25以上。所有這些數(shù)字都是非常近似的,因?yàn)樗鼈兎浅R蕾囉谔囟l件,但是它們?yōu)轭A(yù)期的ESD水平提供了一個(gè)數(shù)量級(jí)的指導(dǎo)。
盡管ESD導(dǎo)致的結(jié)果看起來很高,但通常不會(huì)引起注意。可以感覺到的最小靜電放電約為5kV,即使這樣,這種放電量也只能在某些情況下感覺到。原因是,即使產(chǎn)生的峰值電流可能很高,它們也只能持續(xù)很短的時(shí)間,并且由于它們后面的電荷相對較小,因此人體無法檢測到它們。來自電子或電氣設(shè)備的,如此大小的電壓(可能提供更多的電流并且持續(xù)更長的時(shí)間)將產(chǎn)生更大的影響,并且非常危險(xiǎn)。
靜電可以通過多種方式轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體器件,從而導(dǎo)致ESD損壞。最明顯的是被帶電且導(dǎo)電的物品觸摸時(shí)。最明顯的例子可能發(fā)生在半導(dǎo)體在工作臺(tái)上并且有人走過地板建立電荷然后將其撿起時(shí)。然后,帶電的手指會(huì)非常迅速地將靜電荷賦予半導(dǎo)體,并可能造成損壞。工具可能更有害。金屬螺絲刀的導(dǎo)電性更高,將更快地釋放電荷,從而導(dǎo)致更高水平的峰值電流。
但是,不必觸摸組件即可對其造成損壞。塑料杯之類的物品帶有很高的電荷,將其中之一放置在IC旁邊可以“感應(yīng)”相反的電荷到IC中。這也可能損壞半導(dǎo)體器件。用人造纖維制成的扎帶也會(huì)造成ESD危害,因?yàn)樗鼈儠?huì)充電并容易掛在敏感的電子設(shè)備附近。
ESD失效機(jī)制ESD可以通過多種方式損壞半導(dǎo)體組件。最明顯的結(jié)果來自極高的靜態(tài)電壓,從而產(chǎn)生高水平的峰值電流,這可能導(dǎo)致局部燒毀。即使電流流過很短的時(shí)間,集成電路中微小的特征尺寸也意味著很容易造成損壞。芯片本身中的互連導(dǎo)線或區(qū)域可能會(huì)被高峰值電流熔斷。
ESD可能造成損壞的另一種方式是,高電壓電平導(dǎo)致設(shè)備本身的組件發(fā)生擊穿。它可能擊穿器件中的氧化層,導(dǎo)致器件無法操作。由于某些IC的尺寸遠(yuǎn)小于微米,即使電壓相對較低也會(huì)導(dǎo)致?lián)舸@也就不足為奇了。
盡管ESD造成的損壞會(huì)立即損壞設(shè)備,但它們也有可能造成所謂的潛在故障。發(fā)生這種情況是因?yàn)镋SD不會(huì)完全破壞設(shè)備,但造成的損壞只會(huì)使設(shè)備變?nèi)酰瑥亩锌赡茉谄涫褂脡勖笫А_@些潛在的缺陷通常無法檢測到。結(jié)果是,可靠性的整體水平大大降低,或者(對于模擬設(shè)備更是如此)性能可能下降。由ESD引起的潛在故障的成本可能很高,因?yàn)樵诰S修中,維修一項(xiàng)維修的成本要比在工廠修理出故障的維修的成本高得多。原因是維修技術(shù)人員通常需要在現(xiàn)場維修該物品,或者需要將其運(yùn)送到維修機(jī)構(gòu)。
當(dāng)互連部分被ESD熔斷時(shí),可能會(huì)導(dǎo)致潛在故障。通常,導(dǎo)體的一部分會(huì)被靜電破壞,從而使其在以后變得脆弱。損壞芯片的另一種方法是將由損壞引起的材料散布在半導(dǎo)體表面上,這可能會(huì)導(dǎo)致替代的導(dǎo)電路徑。
由于組件很容易受到ESD損壞的事實(shí),大多數(shù)制造商將所有半導(dǎo)體都視為靜電敏感器件,因此許多制造商將包括無源組件(如電容器和電阻器)在內(nèi)的所有器件也視為靜電敏感器件。觀察這一點(diǎn)時(shí),必須記住,當(dāng)今大多數(shù)批量生產(chǎn)的設(shè)備都使用表面安裝組件,這些組件的尺寸比傳統(tǒng)組件小得多,這使得它們更容易受到ESD的損壞。
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